掃描電鏡的分辨力要通過實驗來檢驗，所以任何sem掃描電鏡都有一個指標分辨率來表現(xiàn)掃描電鏡的性能水平，所謂的接受分辨率一般不會差于指標分辨率。然而，目前sem掃描電鏡的驗收分阿辨率還沒有標準的測試方法，通常有三種方法：間隙測量法、有效放大率法和對比度法。

①間隙測量法

差距測量在早期被大量使用，即使現(xiàn)在仍然使用這種方法用于掃描電鏡的驗收。此方法是以金粒子的樣本，然后查找金粒子之間的間隙，以測量能量之間的很小間隙作為分辨率。

②有效放大率法

有效放大率是用電子顯微鏡的分辨率除以0.3 mm 得到的。如果分辨率是1.5 nm，有效放大率是20萬倍。當使用這種方法測試分辨率時，在有效放大倍數(shù)（或稍大倍數(shù)）下拍攝金顆粒照片。

③邊緣對比度法

隨著對的寬度變得越來越窄，成像后，白線區(qū)域的亮度減小，黑色區(qū)域的亮度增加，這意味著圖像中的黑白對隨著寬度的減小而更接近中間灰色。直到后面一對非常密集，黑白線是明亮的線是完全不一清二線的。然后在線對的密度和相應的對比度之間有一條遞減曲線，這是MTF曲線。